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旋转接头在半导体行业中的应用

发布时间:2023.10.25
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  半导体业如此巨大的市场,半导体工艺设备为半导体大规模制造提供制造基础。而旋转接头在半导体生产过程中起到重要的作用,它将流体介质输送管道与旋转,往复运动或摆(转)动某角度的设备相连接,既保证连续不断向运转的设备、管道传递流体、气体,又要防止流体介质相互串通、泄漏和外界杂物进入工作介质,旋转接头是半导体设备上的非功能部件,但是其作用,对整台机器的设备,甚至整个工厂的影响都很大。

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